반도체 플라즈마 에칭장비 외국인 출원 286% 급증

국내 반도체 플라즈마 에칭장비 시장을 장악하려는 외국기업들의 공세가 강화되고 있어 관련 업체들의 적극적인 대응이 요구된다.

26일 특허청에 따르면 최근 들어 관련 산업이 부각되면서 외국기업들이 국내 업체들의 국산화 등을 통한 국제 시장 진입을 막고자 국내 특허출원을 크게 늘리는 등 특허장벽을 형성해 나가고 있다. 실례로 지난해 이 분야의 특허출원은 전년(90건) 대비 76.6% 늘어난 159건(내국인 74건, 외국인 85건)을 기록한 가운데 내국인 출원은 9%(68건→74건) 성장한 반면 외국인 출원은 286%(22건→85건)나 급증했다.

이에 따라 전체 출원건수 대비 출원점유율도 지난 2002년의 경우 내국인 출원이 75.5%를 점유하며 우월적 위치를 지켰지만 1년 만에 내국인 점유율 47%, 외국인 53%로 상황이 역전돼 외국기업들의 국내시장 장악의도를 예측할 수 있게 하고 있다.

특허청 관계자는 "과거 우리나라는 반도체 장비의 경우 거의 전량 수입에 의존했지만 최근 활발한 연구개발로 국내 공급비율이 23% 수준에까지 도달하는 등 국산화가 빠른 속도로 진행되고 있다" 며 "이에 따라 외국기업들이 국내 업체를 견제하기 위한 특허장벽을 형성하기 위해 국내 출원을 늘리고 있는 것으로 분석된다"고 말했다.

또 이 관계자는 "향후 반도체 플라즈마 에칭장비 분야는 해외 시장도 급팽창할 것으로 예상되고 있어 국내 기업들이 특허분쟁에 휩싸이지 않기 위해 보다 경쟁력 있는 특허를 확보하는 등의 적극적인 대응책에 나서야 할 것"이라고 경고했다. 한편 반도체 플라즈마 에칭장비는 차세대 나노급 반도체 제조의 핵심장비로, 국내에선 주성엔지니어링, 아이피에스, 한국디엔스, 피에스케이 등이 활발한 연구개발 활동을 펼치고 있다.
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