[충청투데이 최윤서 기자] 반도체 테스트베드 기관인 나노종합기술원(이하 나노종기원)이 국내 중소기업과 코로나19(이하 코로나) 방역을 위한 ‘비접촉식 적외선 체온계’ 기술 자립에 성공했다.

공정 단순화로 가격경쟁력을 획기적으로 높였는데 미국 FDA 승인을 받으며 해외 수출 판로 확보에도 청신호가 켜졌다.

17일 나노종기원은 ㈜템퍼스와 공동개발을 통해 ‘비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서’의 양산에 성공했다고 밝혔다.

최근 전 세계적으로 코로나 방역을 위한 비접촉식 온도측정 수요가 폭증하는 추세다. 이번에 양산에 성공한 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서는 국내 최초로 반도체 호환공정을 적용해 높은 수율 확보가 가능하고, 공정단순화로 가격경쟁력을 획기적으로 높인 것이 가장 큰 장점이다.

주변의 모든 물체에서 방출되는 8~14um 영역의 원적외선 파장을 검출해 실시간 온도 출력이 가능하며, 서로 다른 두 금속의 접촉 부위에 온도 차이가 있는 경우 열기전력이 발생하는 원리를 이용했다.

MEMS(미세기계전자시스템) 기반 공정에 CMOS(반도체 제조공정)을 접목해 생산성을 획기적으로 향상했고, 경쟁사 대비 감도가 3~5배 우수한 특성을 확보했다.

이미 500만개의 온도센서를 국내·외 체온계 제작기업에 납품 완료했고 최근에는 온도센서와 독자 제작한 비접촉식 체온계에 대해 미국 식품의약국(FDA)의 공식 인정을 받아 본격적인 미국 수출을 앞두게 됐다.

신백규 ㈜템퍼스 대표는 “적외선 영역 1~25㎛ 파장대까지 검출할 수 있는 템퍼스의 적외선 센서 기술력과 반도체 및 센서 공정기술지원이 가능한 나노종기원의 협업을 통해 제품양산과 다양한 어플리케이션의 확대가 가능하게 됐다”며 “국내·외 비접촉 체온계시장을 적극 공략할 계획”이라고 말했다.

한편 나노종기원은 자체 개발한 핵심공정기술을 중소 센서기업인 ㈜트루윈에 이전하고, 공동으로 양산기술을 개발한 이후 양산단계까지 지원해 지난 3월 ‘적외선 열영상 센서’ 상용화에 성공한 바 있다.

㈜트루윈이 양산·판매중인 센서와 적외선 영상 카메라는 코로나로 인한 국내·외 수요 증대로 올해 약 145억원의 매출이 예상된다. 최윤서 기자 cys@cctoday.co.kr

저작권자 © 충청투데이 무단전재 및 재배포 금지