양 지사는 이날 ‘포스트코로나’ 경제 살리기의 일환으로, 도내 주요 외투기업을 찾아 애로사항을 청취, 해결책 마련을 약속했다.
미국의 글로벌 화학소재 기업 듀폰(DuPont)은 지난해 내년까지 총 2800만달러를 투자해 반도체 핵심 소재인 ‘극자외선(EUV)용 포토레지스트’ 생산 공장을 천안에 건설하기로 하고, 현재 생산 공장 및 설비 등에 투자를 진행 중이다.
EUV용 포토레지스트는 지난해 일본이 한국으로의 수출을 통제한 3대 품목 중 하나로, 반도체 초미세 공정에 쓰이는 핵심 소재다.
현재 EUV 포토레지스트 시장은 JSR·신에쓰·도쿄오카공업(TOK) 등 일본 기업이 세계시장의 90% 이상을 점유하고 있다.
국내에서도 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF) 등 다른 포토레지스트는 일부 생산이 가능하지만, 파장이 각각 248나노미터(㎚)와 198㎚로 길어 EUV용(13.5㎚)보다 미세공정에 적합하지 못한 단점이 있다.
회사 관계자는 이 자리에서 “현재 투자 중인 EUV 포토레지스트도 다른 나라에 당초 투자예정이었으나 도의 적극 지원으로 결국 한국 천안으로 입지를 결정했다”며 “향후 추가투자 시에도 도의 변함없는 지원이 필요하다”고 건의했다.
양 지사는 “듀폰코리아는 천안에 3개 공장이 가동 중이고 직원이 320여명에 달하는 지역의 가장 중요한 기업 중 하나”라며 “코로나19 극복은 물론, 반도체·소재·부품 관련 추가 투자 시 더욱 지원을 아끼지 않겠다”고 말했다.
이권영 기자 gyl@cctoday.co.kr