대기 비개방형 시편제작 통합형
대기 비개방형 시편제작 통합형 주사전자현미경은 시편가공과 시편관찰을 일체화함으로써 관찰을 위해 제작된 시편이 대기에 노출됐을 때 대기 물질과의 반응으로 시편이 변형되는 것을 원천적으로 차단할 수 있다.
이를 통해 시편의 관찰분석에 대한 신뢰성을 높여 최근 각광받고 있는 이차전지, 유기발광다이오드 연구개발 분석에 크게 기여할 것으로 기대된다.
이번에 개발된 주사전자현미경은 대기 노출 반응에 의한 변화를 막을 수 있을 뿐 아니라 가공시 발생하는 열에 의한 시편의 변화를 방지하기 위해 냉각모듈(펠티어 소자)을 장착해 가공 중 발생할 수 있는 시편의 변화를 최소화하도록 했다.
이번 주사전자현미경의 개발은 나노종합기술원이 나노기술 개발지원 뿐 아니라 보유장비를 활용한 연구장비 국산화 기술지원을 추진한 결과로 중소기업의 육성을 목표로 추진하고 있는 테스트베드 지원사업과도 맥을 같이한다.
이번 사업화를 주도한 나노종합기술원 양준모 본부장은 시료의 대기 노출로 발생하는 산화 및 오염의 영향으로 인한 분석의 어려움이 많아 이를 해소하고자 하나의 시스템에서 시편의 제작과 관찰이 가능하도록 개발했으며 이를 통해 중소기업의 제품 확대 및 경쟁력 확보에 기여할 수 있어서 보람이 크다고 밝혔다.
최윤서 기자 cys@cctoday.co.kr